在1100℃的生长期间,GaN和Al2O3间相当大的晶格失配可导致多晶体的产生。使用AlN[AMA 86]和GaN[NAK 91]过渡层是氮化物在Al2O3上异质外延生长的主要步骤。这个在低温下沉积的成核层在蓝宝石上产生了均匀的层,有助于随后沉积于高温的GaN薄膜生长成核。图2-17 1030℃条件下GaN在Al2O3上的直接外延,600℃条件下在GaN缓冲层上沉积30s,沉积70s。随后温度升至1030℃。......
2025-09-29

图6-29 液压缸差动连接回路
1—溢流阀 2—换向阀 3—节流阀 4—二位三通换向阀
1.液压缸差动连接回路
图6-29所示的回路是利用二位三通换向阀4实现的液压缸差动连接回路。这种连接方式可在不增加液压泵流量的情况下提高液压执行元件的运动速度。快速进给时,换向阀2在左位,二位三通换向阀4断电,液压缸差动连接;工作进给时二位三通换向阀4通电,液压缸回油经节流阀3节流后回油箱。但是,泵的流量和有杆腔排出的流量合在一起流过的阀和管路应按合成流量来选择,否则会使压力损失过大。
2.采用蓄能器的快速运动回路
图6-30所示为采用蓄能器的快速运动回路。采用蓄能器的目的是可以用规格较小的液压泵。当液压缸6运动时,由蓄能器4和液压泵1共同供油;当液压缸6停止,换向阀5在中位时,液压泵1为蓄能器4充油。溢流阀2用于调定工作压力。
3.双泵供油回路
图6-31所示为双泵供油快速运动回路。图中1为大流量泵,3为外控式顺序阀,其调定压力高于快速运动的负载压力,低于工作进给的负载压力;2为小流量泵,5为溢流阀,用以调定工作进给压力。快速运动时,双泵给系统供油;工作进给时,大流量泵1卸荷,小流量泵2供油。(https://www.chuimin.cn)
双泵供油回路的优点是功率损耗小,系统效率高。

图6-30 采用蓄能器的快速运动回路
1—液压泵 2—溢流阀 3—单向阀 4—蓄能器 5—换向阀 6—液压缸

图6-31 双泵供油快速运动回路
1—大流量泵 2—小流量泵 3—外控式顺序阀 4—单向阀 5—溢流阀
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