改进评价函数进一步优化在前一步的基础上，仍取物距为变量，并将所有半径增加为变量。值得指出的是，往后进一步的优化中，要反复应用这个新构造的评价函数，简称“新构造的评价函数”。第一阶段优化结果的入瞳距离镜头第一面300mm，出瞳距离像面170mm。第一阶段优化出的结构参数见表6-11，简称这个物镜为“光刻物镜6-11”，它的光路简图如图6-22所示。...
2023-06-20 理论教育
现代光学镜头设计方法与实例
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选择原始基型ga和gb的介绍详细阅读
1）根据设计要求可知，后半部ga的光学参数为：工作波长为0.248μm，物在无穷远，数值孔径是0.56，像高是0.46mm。表6-1 中倍平场显微物镜 这个原始结构要用到光刻物镜设计中还需做进一步的改造，需要调整光学参数，更换工作波长和材料，将光阑移到前边，用单片替代双胶合镜组，将物方焦点挤到物镜之前，必要时还要缩放焦距。若光刻物镜后半部光组的焦距fa′如1）取10mm，则光刻物镜前半部光组的焦距fb′是40mm。表6-2 低倍平场显微物镜...
2023-06-20 理论教育
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光路初步布局分析及优化方案详细阅读
放映物镜光路的初步布局按薄透镜表示，如图4-87所示。初步布局的光路系统是一个光焦度为“+-+-”的系统，可以将它看成是一个“+-+”的三片系统加一个负光焦度的单片，此负光焦度的单片用于校正场曲像差和大孔径球差。...
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新光刻物镜的优化改进效果明显详细阅读
通过比对像差曲线可以看到，优化改进后新光刻物镜比“参考文献[17]光刻物镜”的成像质量有了较大的改善，就残留像差的最大值而言，优化改进后横向像差由1.13μm减小为0.12μm，相对畸变由0.015%减小为0.00026%，方均根波像差由0.125λ减小为0.014λ；优化改进后新光刻物镜的调制传递函数曲线明显好于“参考文献[17]光刻物镜”的曲线。...
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复杂镜头设计实例优化详细阅读
第5章中将4～6片透镜组成的镜头定义为中等复杂的光学镜头，现将由6片以上透镜组成的镜头划归为复杂镜头，即称结构比双高斯摄影物镜更复杂的镜头为复杂镜头。集成电路加工设备中的投影光刻机物镜就是一个复杂的光学镜头，一般它由十几块乃至几十块镜片组成。本章将一个工作在紫外波段的投影光刻物镜作为复杂镜头的设计实例，从构造初始结构开始一步一步完整地完成设计。6）双远心光路。...
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如何优化初始结构参数以改善显微物镜光学特性？详细阅读
表4-20 缩放后的初始结构参数缩放后，在计算机上将它的光学特性参数改正为设计所要求的值。图4-70 中倍李斯特显微物镜例2初始结构的横向像差曲线图4-71 中倍李斯特显微物镜例2初始结构的像散曲线由图4-71看到，初始结构的像散已消除；另从图4-69、图4-70和图4-72看到，这个“4-20结构”的像质需要进一步优化提高。图4-72 中倍李斯特显微物镜例2初始结构的调制传递函数曲线图4-73 中倍李斯特显微物镜例2初始结构随视场变化的方均根波像差曲线...
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基于负前凸型的高折射率双片镜头优化设计详细阅读
解：1）自感电动势为图2-31 “负前凸”型激光光束聚焦物镜例2的点列图负号表示自感电动势总是企图阻碍电流的变化。求自感电动势时可取绝对值，即图2-32 “负前凸”型激光光束聚焦物镜例2的调制传递函数曲线“负前凸”型例2与例1的像质都很优良，但“负前凸”型例2的系统长度比例1的缩短了。...
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紫外投影光刻物镜的光路优化分析详细阅读
投影光刻物镜一般要求“双远心”工作，这一是希望物镜的放大率不因物距不同而改变；二是希望物镜的像高不因像面离焦而发生变化。所以可将物镜以孔径光阑为界划分成两部分gb和ga，其中gb表示光刻物镜孔径光阑前的整个光组，ga表示光刻物镜孔径光阑后的整个光组。为图示简明，将gb和ga都用薄透镜表示，则光刻物镜轴外点主光线的光路如图6-1所示。图6-1 双远心光刻物镜中轴外点主光线的光路图图6-2 光刻物镜光路简图...
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基于正前凸型的高折射率双片镜头详细阅读
用导线绕制而成的线圈称为电感器，它是利用电磁感应的原理进行工作的，故又称为电感线圈，简称电感。电感器的主要作用是对交流信号进行隔离、滤波或与电容、电阻等组成谐振电路。图2-19 利用“TRAC”优化出的激光光束聚焦物镜像差曲线图4-58 常见的电感器a）扼流线圈 b）变压器 c）荧光灯镇流器实训与思考17◆拆装如图4-59所示的变压器。金属屏蔽罩是为了防止内、外电路的干扰。...
2023-06-20 理论教育
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物镜光刻优化的第二阶段：提高远心程度详细阅读
第二阶段的优化是在尽可能保持优良像质的情况下，提高物镜的远心程度。由此可得物方远心程度，像方远心程度，显然，无论是物方远心程度还是像方远心程度都比第一阶段的优化结果好得多。第二阶段优化出的结构参数见表6-12，简称它为“光刻物镜6-12”，它的光路简图如图6-27所示，取六个视场输出它的横向像差曲线、波像差曲线、像散和场曲以及畸变曲线，如图6-28～图6-30所示，调制传递函数曲线如图6-31所示。...
2023-06-20 理论教育
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优化光刻物镜评价函数的方法与应用详细阅读
先在ZEMAX镜头数据表中取三个视场，填写采用弥散圆型式的默认评价函数，并在其中增加如下操作，构成优化过程中的评价函数：{PMAG；Target，Weight}{PMAG；-0.25，100}{DIST；Target，Weight}{DIST；0，10}{DIMX；Target，Weight}{DIMX；0，10}{FCUR；Target，Weight}{FCUR（0；1）；0，10}{FCGT；Target，Weight}{FCGT；0，10}{FCGS；Target，Weight}{FCGS；0，10}在默认评价函数的第二视场中加入：{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}在第三视场中加入：{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}{TRAC；Target，Weight}{TRAC；0，1}这个评价函数就是前面多次使用过的“新构造的评价函数”。...
2023-06-20 理论教育
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光刻物镜系统视场范围内的像差和场曲量测分析与要求详细阅读
具体数据为：在整个视场范围内横向像差Δy′≤0.035μm，波像差ΔW≤0.008λ，子午场曲xt′≤0.036μm，弧矢场曲xs′≤0.01μm，相对畸变dist≤0.000042%；调制传递函数曲线MTF与衍射置限调制传递函数曲线MTF重合。将上述讨论推广到整个光刻物镜系统，结论显然也是成立的。值得指出的是，光刻物镜6-13的波像差，这就对物镜的加工、测量与检验提出了比较苛刻的要求。...
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